但现在一番检测下来，这🆖🏧两台设备的情况都很正常，问题到底在哪里？
“两台设备单体都正常🏮🝟，组装在一起就不正常。在组装的时候，我们做过哪些改动程序？”
这时，许振鸣慢慢的蹲下身子，目光落在🎘光刻机主体系统的接驳机构处🉄🄰。他的意思很明确，就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是，我觉得应该🆖🏧是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来，说出自己的猜想。
“不可能！我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进🎚👧的加工中心制造的，加工精度能保证。”万宁古一边说话，一边也跟着半蹲了下来。
这时候，梁宋松有点懵懵的。出于自信，他随口就否定了万宁古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平🙳🎠要比米国佬差了两代左右，加工精度怎⚽么能🗸☵🃬保障？依我看，就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”
“咱们不能随便乱说，要用实验数据🁸来说话。”万宁古不认输，用手指摸了摸主机系统的接驳机构，感受一下接驳机构的加工面。
这组接驳机构🃳🛶♓的加工面非常光滑，曲线度、光滑度通过目测🎚👧应🖏该找不出故障。
所以，许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了🉄🄰一下，然后侧过脸来问万宁古：“老万，咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验？”
万宁👙古闻言摇摇头，“光刻机是精密设备，两套系统一定要组装在一起工作才行。否则，光刻流片的精度无法保障。”
按照他的意思，土办法是解决🖅不了目前的测试困🚓境，这事有🎚👧点难办了。