但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷，这台设备若没出现问题，逻辑上怎么🐷也解释不清楚🛠🝳🏋。
带着这种疑问☴，万宁⛜🛐🛡古陪着许振鸣来到光刻机主⚞💡📚机系统检测调试工作站的旁边，两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。
时间不久，他担心的事情出现了……
当这台光刻📢🜡🃭机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后，监视器🍊显示的各项数据都很正常，精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董，☴主机系统重复精度小于0⚤.001⚞💡📚毫米，数据正常。”
“报告万总，主机系⛜🛐🛡统的震动量误差🕄都在量级以内，不会对光刻程序造🗺成影响。”
“报告万总，主机系统的功率输出一直都🁹💿非常稳定，模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范🙯🍺围之内，没有出现异常情况。”
“……”
技术员🐡🁕🅩们非📢🜡🃭常专注，每出现一个数据就会把情🝁况如实汇报。
通过他们一番比对下来，这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事🀝有点蹊跷了！
另一边，郝宁教授的团队已经🟒完成了激光光源的能🞈💇🏫量测试流程，一切也正常。
不但如此，他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测🄼🂽试🚏，激光在空气🐂中的散光度误差很小，在正常范围之内。
由此看来，📢🜡🃭米国🙼🏭佬的这台激光光源系统没有质量问题，性能非常稳定。
看到这一幕，梁宋松也有点傻眼了，“两套系统单体测试都很正🍊常，组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情🆊况？”
“这…这事有点邪门啊！”万宁古此时也有点懵，两手一摊，看着许振鸣苦笑，并且👫直摇头。
今天中午饭的时候，他得到梁宋松的提⚤醒，灵感咋现，其实已经初步判断出这台光刻机的故障💞所在。按照他的设想，米国产的激光光路系统肯定没问题，国产的光刻机主体系统肯定有问题。