如果没有周🌈☫硕的干扰，从0.35微米工艺向0.25微米工艺过渡的光刻机，🖊真实历史上实际🃨使用的是步进重复投影曝光技术。
在0.35🌈☫微米工艺及之前，光刻机光学掩膜版的制作要求是非常高的。基本上和生产的芯片，是一对一🚄全比例设计。🄯🁀🂫
掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触，接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上，投影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面，化学药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉，然后再🐳把晶圆转移到离子注入机上进行离子注入……
把镜头和晶圆🀵🁌🄔直接接触，或者两者之间只有小缝隙的接近，这种光刻机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。
这种设计自有其好的一面，对镜头精度要求低，系统复杂度低，以及成像质量高之类的优点🏁。但也有其致命的缺陷，0.35🏴微米工艺基本上就是其经济性的极限了。
0.25微米工艺光刻机想要延续接触式曝光，整个系统需要的机械精密程度，掩膜版的成本、掩膜版和硅片的🗺接触紧密度，系统的集成难度都开始了几何级数的增加。
于是在原本的🀵🁌🄔历史上，尼康也好、阿斯麦也好都选择了另📑🚊👰一条路，那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。
这种技术说白了，就是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几🗺次聚焦、折射、再聚焦，最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。
对于沉浸式光刻技术而言。🗚🜋投影式曝光技术最大的🏺好处就是——避免了使用防水光刻胶的高成本。🇰🜋🀨
其实说起来🌈☫，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以🏺发泄自己内心的畅快🐇♖！
日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术，原本他们这个技术至少是可以吃一代光刻机📘🛉没问题的。历史上，早🝞🌑⚂期沉浸式光刻机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机，直到投影式光刻机成为主流防水光🗉🙰刻胶才退出了历史舞台。
他现在拿出来的这份文件⛺，自然就是投影式光刻机的技术专利，可以🟅说这项技术一出防水光刻胶就是一个废物了！
鹤田刚开始还不以为然，在他的心里早就已经认为泛翰集团是砧板上的鱼肉。哪里还有什么翻盘的🇰🜋🀨机会？
这个年代里，日本人不仅是骄傲的，而且也非常有骄傲的资本。🝱整个九十年代，世界十大晶圆厂，日本人占了半数还多！⚌🏻🟑
在鹤田和所🌈☫有日本人看来，中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死耗子，反正搞举国体制不正是共产国际🔀♆🆆的强项嘛！
除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道，日本人绝不相信🝱泛翰集团还能在其他方向产生突破，他们🚄手里的底牌也就是仅此而已。
然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说，不啻是一个巨大的嘲讽☱🃊🖃。